2026年9月，俄罗斯第一副总理曼图罗夫在微电子论坛上宣布了一件事： 俄罗斯和白俄罗斯联合研制的130纳米光刻机样机已经造出来了， 国产准分子激光器完成试验，整机验收今年秋天启动，年底结束。 此前俄方已 推出 350 纳米光刻机设备，短短数月就推出130纳米样机，堪称该国半导体设备领域的一项重大突破，也令中方不由得大吃一惊！ 这台机器可以用来干嘛？ 光刻机如果按分辨率分档：最上面是EUV（13.5纳米光源），做7纳米以下最先进逻辑芯片。 中间是DUV（248纳米KrF或193纳米ArF光源），做28纳米到90纳米；再往下是i-line（365纳米汞灯）和
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